박막의 이해와 응용

저자 서문
역자 서문

01 마이크로 전자 분야에서 박막의 응용
02 박막 증착
03 표면에너지
04 고체에서 원자 확산
05 확산방정식의 응용
06 박막에서 탄성응력과 변형률
07 박막에서 표면 반응 속도론 과정
08 박막에서 상호확산과 반응
09 결정립계 확산
10 배선과 패키징 기술에서 비가역 과정
11 금속에서 일렉트로마이그레이션
12 AI과 Cu 배선에서 일렉트로마이그레이션에 의한 파괴
13 써모마이그레이션
14 박막에서 응력마이그레이션
15 신뢰성 과학과 분석

부록 A: 열역학 함수의 간략한 검토
부록 B: 고체 내에서 결함 농도
부록 C: Huntingon의 전자 풍력 유도
부록 D: 탄성계수 표와 변환
부록 E: Si MBE에서 테라스 크기 분포
부록 F: 상화확산계수
부록 G: 물리적 성질표
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