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책 정보
· 제목 : 박막공학 (개정판)
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 화학/금속/재료공학 > 금속재료/재료공학
· ISBN : 9788975283109
· 쪽수 : 426쪽
· 출판일 : 2012-02-27
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 화학/금속/재료공학 > 금속재료/재료공학
· ISBN : 9788975283109
· 쪽수 : 426쪽
· 출판일 : 2012-02-27
목차
제1장 박막공학의 개요
제2장 진공과학 기초
제3장 진공증착법
제4장 물리적 증착
제5장 화학적 증착
제6장 박막제작의 전처리 및 결합
제7장 박막의 미세구조와 특성
제8장 박막의 분석 및 평가
제9장 IC 및 전자부품에서의 박막 응용
제10장 자기기록 박막
제11장 Display 박막
제12장 다이아몬드 박막
