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책 정보
· 제목 : 박막공학 (DY 236)
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 화학/금속/재료공학 > 금속재료/재료공학
· ISBN : 9788975282362
· 쪽수 : 417쪽
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 화학/금속/재료공학 > 금속재료/재료공학
· ISBN : 9788975282362
· 쪽수 : 417쪽
책 소개
박막기술의 기초가 되는 진공과학부터 박막의 전자부품에서의 응용에 이르기까지 박막공학의 여러 분야를 기초 개념부터 제작기술까지 기술한 책이다. 되도록 원어를 한글로 표기하고자 하였고 부득이한 경우에는 원어로 표기하였다. 또한 많은 그림과 데이터를 제공하여 이해를 돕고자 하였다.
목차
제1장 박막공학의 개요
제2장 진공과학 기초
제3장 진공증착법
제4장 물리적 증착
제5장 화학적 증착
제6장 박막제작의 전처리 및 결합
제7장 박막의 미세구조와 특성
제8장 박막의 분석 및 평가
제9장 IC 및 전자부품에서의 박막 응용
제10장 자기기록 박막
제11장 Display 박막
제12장 다이아몬드 박막
저자소개
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