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책 정보
· 제목 : 미세화소자 전자절연과 물성 
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 화학/금속/재료공학 > 금속재료/재료공학
· ISBN : 9788976413222
· 쪽수 : 384쪽
· 출판일 : 1997-08-30
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 화학/금속/재료공학 > 금속재료/재료공학
· ISBN : 9788976413222
· 쪽수 : 384쪽
· 출판일 : 1997-08-30
목차
001. 전기전자 절록재료의 현황과 전망 002. 절연체의 전자물성 003. 미세화 소자의 현황과 기술적 과제 004. 전자절록막의 기능과 활용 005. 전자절록막의 퇴적 006. 전자절록막의 특성평가와 신뢰성
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