책 이미지
eBook 미리보기
책 정보
· 제목 : 반도체공정 및 장치기술 (집적회로 제조를 위한)
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788985437189
· 쪽수 : 535쪽
· 출판일 : 2005-08-30
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788985437189
· 쪽수 : 535쪽
· 출판일 : 2005-08-30
목차
제1장 반도체 집적회로 공정과 제조 장치 기술의 개요
제2장 결정 성장과 웨이퍼링
제3장 세정공정
제4장 산화공정
제5장 확산공정
제6장 이온 주입 공정
제7장 박막증착 공정
제8장 노광 기술과 식각 공정
제9장 접촉 형성과 다층 배선 공정
제10장 웨이퍼 프로세스 평가
제11장 집적화 공정
제12장 패키지 기술과 조립 공정
제13장 고장 매커니즘과 신뢰성 테스트
부록
참고문헌
찾아보기
