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책 정보
· 제목 : 반도체공정개론 (제2판)
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9789813350632
· 쪽수 : 352쪽
· 출판일 : 2023-02-28
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9789813350632
· 쪽수 : 352쪽
· 출판일 : 2023-02-28
목차
제1장 미소전자 제조 공정
제2장 리소그래피
제3장 실리콘 산화막
제4장 확산
제5장 이온 주입법
제6장 박막 증착
제7장 상호접속과 접촉
제8장 패키징 및 수율
제9장 MOS 공정 집적화
제10장 양극 공정 집적화
제11장 MEMS 공정
