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책 정보
· 제목 : 반도체공정실습
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791156003397
· 쪽수 : 218쪽
· 출판일 : 2015-02-04
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791156003397
· 쪽수 : 218쪽
· 출판일 : 2015-02-04
목차
Chapter 1 클린룸
Chapter 2 세정공정실습
Chapter 3 열산화막성장 실습
Chapter 4 화학기상 증착실습(CVD)
Chapter 5 물리기상 증착실습(PVD)
Chapter 6 사진공정실습
Chapter 7 식각 공정실습
Chapter 8 측정 실습
Chapter 9 솔라셀공정실습
Chapter 10 전자주사현미경 측정실습
부록
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