국내외 플라즈마 기술 산업 전망 기초 보고서

I. 서론 1

II. 플라즈마의 개요 3
가. 정의 3

나. 개념 5

III. 플라즈마 기술 개요 10
가. 플라즈마의 종류 10
1) 열 플라즈마(Thermal Plasma) 10
2) 저온 플라즈마(Cold Plasma) 12

나. 플라즈마의 활용 분야 14
1) 열 플라즈마(Thermal Plasma) 14
2) 저온 플라즈마(Cold Plasma) 15

IV. 플라즈마 시장 현황 18
가. 국내 18
나. 국외 22

V. 플라즈마 기술 현황 25
가. 플라즈마 기술동향 25
1) 국내 25
2) 국외 36

나. 플라즈마 응용 산업 현황 38
1) 반도체 산업 38
2) 디스플레이 산업 39
3) 환경 산업 39

다. 특허 현황 44
1) 국내 45
2) 국외 55
3) 특허분쟁 65

VI. 플라즈마 관련 기업 및 연구기관 69
가. 국내 69
1) 국가핵융합연구소 (NFRI) 70
2) 철원 플라즈마 산업 기술연구원 73
3) 에피피 (APP) 75
4) 뉴파워플라즈마 (NEW POWER PLASMA) 78
5) 피에스엠 (PSM) 80
6) 기타 82

나. 국외 83
1) Plasma Ionic 84
2) relyon plasma 86
3) Dinner Electronic Plasma Surface Technology 89
4) G.E. MATHIS COMPANY 92
5) 플라즈마 기연 공업 주식회사 94

VII. 결론 97

VIII. 참고문헌 99

<표 차례>

표 1 고온 플라즈마 처리대상 탄종 33
표 2 플라즈마 처리장치 도면 주요 장치 이름 47
표 3 플라즈마 중점연구 및 기대효과 71
표 4 에이피피 기업의 플라즈마 이용 분야 76
표 5 APS의 필요설비 95

<그림 차례>

그림 1 물질의 상태 변화 1
그림 2 플라즈마 생성원리 4
그림 3 오로라 5
그림 4 번개 5
그림 5 토카막 내부 모습 6
그림 6 아이언맨 영화 속 아크 리액터 7
그림 7 영화 속 아크 리액터에 의해 작동하는 아이언맨 슈트 7
그림 8 플라즈마 토치의 형태 11
그림 9 고주파 토치로 12
그림 10 반도체, 디스플레이 수출 현황 (단위: 억 달러) 19
그림 11 반도체 업체 매출액 순위 19
그림 12 디스플레이 시장 점유율 20
그림 13 국내 의료용 멸균기 시장 규모 21
그림 14 세계 의료용 멸균기 시장 규모 22
그림 15 세계 의료용 멸균기 시장 규모 예측 22
그림 16 유전극을 활용하여 장갑이나 옷 형태로 제조 가능 27
그림 17 의료용 멸균기 30
그림 18 플라즈마를 이용한 나노다이아몬드 인쇄 과정 32
그림 19 플라즈마 시스템을 이용한 공기청정기의 과정 34
그림 20 플라즈마 적용 사례 38
그림 21 기관별 특허 출원 현황 44
그림 22 기술 분야별 특허 출원 현황 44
그림 23 플라즈마 발생장치 45
그림 24 대기압 플라즈마 발생장치 46
그림 25 플라즈마 처리장치 도면 47
그림 26 반도체 제조용 플즈마 식각장치 도면 1 49
그림 27 반도체 제조용 플즈마 식각장치 도면 2 49
그림 28 K-HOSPITAL FAIR 2015에 출품한 RENO-S90 50
그림 29 가스 하이브리드 구조를 이용한 플라즈마 치아 미백 시스템 과정 52
그림 30 국내 최초 피부재생 의료기 힐300 54
그림 31 일본 특허청 사이트 55
그림 32 미국특허청사이트 60
그림 33 국가핵융합연구소 70
그림 34 철원 플라즈마 산업 기술 연구원 73
그림 35 에이피피 75
그림 36 뉴파워플라즈마 78
그림 37 RF Generator for semi/display 79
그림 38 PSM 80
그림 39 plasma ionic 84
그림 40 relyon plasma 86
그림 41 Pulsed Atmospheric Arc Technology ? PAA® Technologie 87
그림 42 Piezoelectric Direct Discharge Technology ? PDD Technologie® 88
그림 43 Dinner Electronic Plasma Surface Technology 89
그림 44 DLC 플라즈마 코팅 처리비교 90
그림 45 PCB DLC 플라즈마 코팅 90
그림 46 DCL 층의 마찰 기구 91
그림 47 G.E. MATHIS COMPANY 92
그림 48 CNC 플라즈마 절단 기술 사용 모습 93
그림 49 플라즈마 기연 공업 주식회사 94
그림 50 콜드 스프레이 95