탄화규소 시장조사 보고서

Epilogue 1

I. 탄화규소 개요 및 기술동향

1. 탄화규소 개요 및 기술동향 3
1.1 탄화규소의 역사 및 개념 3
1.2 구조적 특성 및 물성 5
2. 탄화규소 분말 7
2.1 SiC 분말제조 방법 7
2.2 초고순도 SiC 분말 기술개발 동향 및 현황 11
2.3 초구순도 SiC 분말 특허출원 동향 13
3. SiC 소결체 16
3.1 SiC 소결체 제조방법 17
3.2 SiC 소결체 제조법 기술개발 동향 24
3.3 초고순도 SiC 소결체 제조사별 특허 현황 27
4. SiC 단결정 31
4.1 SiC 단결정 성장법 31
4.2 SiC 단결정 기술 개발 동향 및 현황 38
4.3 SiC 단결정 성장기술별 연구 동향 41
4.4 β-SiC 분말을 사용한 SiC 단결정 성장기술 동향 42

II. 탄화규소의 응용분야와 시장동향

1. 탄화규소 반도체 46
2. 반도체 제조공정용 부품 분야 53
3. 탄화규소 전지 분야 61
4. 탄화규소의 기술개발 동향 (전기전도성 탄화규소 세라믹스 개발) 66
5. 기술동향 67
6. SiC 소재의 응용분야 전망 70

III. 탄화규소 특허 현황 및 분석

1. 탄화규소 관련 특허 현황 74
2. 탄화규소 관련 국내 기술 및 특허 76
3. 국외 특허 84

Epilogue 86

참고문헌 88