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책 정보
· 제목 : 반도체 집적 공정
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791191679205
· 쪽수 : 348쪽
· 출판일 : 2024-03-10
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791191679205
· 쪽수 : 348쪽
· 출판일 : 2024-03-10
목차
제1장 서론
제2장 결정 성장
제3장 실리콘 산화
제4장 광 노광 공정
제5장 식각 공정
제6장 확산
제7장 이온 주입
제8장 박막 증착
제9장 집적 공정
제10장 IC 제조
제11장 미래의 추세와 도전
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