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책 정보
· 제목 : First Engineer 반도체 공학
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788938109132
· 쪽수 : 258쪽
· 출판일 : 2014-02-05
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788938109132
· 쪽수 : 258쪽
· 출판일 : 2014-02-05
목차
1장 반도체 기초(Semiconductor Basic)
2장 실리콘 결정(Wafer crystal)
3장 실리콘 웨이퍼 세정, 성장, 제조(Clean, Growth, make)
4장 산화공정(Oxidation)
5장 박막 증착(Thinfilm deposition)
6장 포토리소그래피와 소자 제조(PhotoLithography, Device make)
Appendix
1. 기호 및 단위
2. SI 유도단위
3. SI 단위의 표시 방법
4. 전기전자 용어(기초)
5. 반도체 용어(크린룸)
6. 반도체 직무분석(공정기술 기술자)
7. 반도체 직무분석(공정장비 기술자)
8. 연습문제 해답
9. Reference
10. Index
