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책 정보
· 제목 : 반도체 개론 
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788938109262
· 쪽수 : 258쪽
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788938109262
· 쪽수 : 258쪽
책 소개
직업 직무 표준 교육 분야의 반도체 분야를 공부하는 고등학교, 전문대학 및 대학교 학생들과 일반인들에게 기초 과정의 직무 표준 교육과정 교재로서 재료, 소자, 공정 부분의 기본적이며 기초적인 핵심 내용으로 보다 쉽고 친숙하게 이해할 수 있도록 출간하였다.
목차
1장 반도체 기초(Semiconductor basic)
2장 실리콘 결정(Wafer crystal)
3장 실리콘 웨이퍼 세정, 성장, 제조(Clean, Growth, make)
4장 산화공정(Oxidation)
5장 박막 증착(Thinfilm deposition)
6장 포토리소그래피와 소자 제조(PhotoLithography, Device making)
Appendix
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