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책 정보
· 제목 : 실리콘 공정기술 입문 
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 화학/금속/재료공학 > 고분자
· ISBN : 9788957270097
· 쪽수 : 226쪽
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 화학/금속/재료공학 > 고분자
· ISBN : 9788957270097
· 쪽수 : 226쪽
목차
001. 반도체 물리 002. 웨이퍼의 궈조 003. 에피택샬 증착 004. 산화공정 005. 포토마스킹 006. 불순물 주입 및 재분포 007. 화학증착 008. 금속막의 증착 009. 소자공정 010. 소자 011. 오염방지 012. 최근의 실리콘 기술 013. 비 실리콘 기술
저자소개
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