플라즈마 전자공학

Chapter 0 서론 : 플라즈마 전자공학
Q & A

Chapter 1 플라즈마 기초
1.1 플라즈마 정의
1.2 기체로서의 플라즈마
1.3 플라즈마 단위 및 변수
1.4 속도, 속력 및 에너지 분포 함수
1.5 플라즈마 유체 방정식
1.6 플라즈마의 집단 행동
1.7 플라즈마 구조
1.8 플라즈마 존재 조건
1.9 전자기장 내에서의 전하들의 운동
1.10 플라즈마의 확산
Q & A

Chapter 2 플라즈마 발생
2.1 플라즈마 장비 구성 및 진공 기초
2.2 플라즈마 소스
2.3 라디오 주파수 플라즈마
2.4 플라즈마 소스 해석
Q & A

Chapter 3 플라즈마 화학 반응
3.1 원자, 분자의 에너지 준위
3.2 플라즈마 내의 화학 반응
3.3 플라즈마 표면 상호작용
Q & A

Chapter 4 플라즈마 공정
4.1 플라즈마 식각
4.2 플라즈마 증착
4.3 최근 반도체 소자 공정 동향 및 이슈
4.4 플라즈마에 의한 손상
Q & A

Chapter 5 플라즈마 측정 및 진단
5.1 전기적 진단 방법
5.2 광학적 진단 방법
5.3 RF & microwave 측정법
Q & A

Chapter 6 플라즈마 소스 공학
6.1 펄스 플라즈마
6.2 펄스 플라즈마 임피던스 매칭
6.3 플라즈마 소스에서 구동 주파수 효과
6.4 플라즈마 소스에서 균일도 해결 방안
6.5 ICP와 CCP 하이브리드 플라즈마 특성
6.6 ICP에서 E-H 전이 현상
6.7 스미스차트와 임피던스 매칭
6.8 플라즈마 발생 효율 측정
6.9 플라즈마 공정 모니터링
Q & A

Chapter 7 부록
7.1 볼츠만 관계 유도(통계역학적 관점)
7.2 CCP 균일 모델(homogeneous model)
7.3 전자 에너지 분포 함수와 탐침 전류 관계
7.4 동력학 방정식(Kinetic Equation)
7.5 자기 모멘트 불변
7.6 유체 운동에 대한 랑그랑지와 오일러 관점
7.7 비국부적 동력학(Nonlocal electron kinetics)
7.8 확산에 대한 동력학적 관점
7.9 면적비에 따른 DC 전압 효과
7.10 플라즈마에서의 파동
7.11 원자 분자 데이터
7.12 물리 상수
7.13 단위 변환
7.14 플라즈마 주요 공식 및 실용 변수
참고문헌