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책 정보
· 제목 : 플라즈마 전자공학 
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 전기전자 개론
· ISBN : 9788963643045
· 쪽수 : 320쪽
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 전기전자 개론
· ISBN : 9788963643045
· 쪽수 : 320쪽
목차
00 서론 : 플라즈마 전자공학
01 플라즈마 기초
02 플라즈마 발생
03 플라즈마 화학 반응
04 플라즈마 공정
05 플라즈마 측정 및 진단
06 플라즈마 소스 공학
저자소개
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