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플라즈마 전자공학

플라즈마 전자공학

정진욱 (지은이)
  |  
교문사(청문각)
2017-02-21
  |  
20,000원

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플라즈마 전자공학

책 정보

· 제목 : 플라즈마 전자공학 
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 전기전자 개론
· ISBN : 9788963643045
· 쪽수 : 320쪽

목차

00 서론 : 플라즈마 전자공학
01 플라즈마 기초
02 플라즈마 발생
03 플라즈마 화학 반응
04 플라즈마 공정
05 플라즈마 측정 및 진단
06 플라즈마 소스 공학

저자소개

정진욱 (지은이)    정보 더보기
한국과학기술원(KAIST) 플라즈마 박사 ㈜ 플라즈마트 연구소장 한양대학교 공과대학 전기공학과 교수 University of Texas at Dallas 객원 교수 2008~2009 삼성전자 생산기술 연구소 고문 2012~2013 한국정보디스플레이 학회 장비연구회 회장 2011~2015 주요 연구 분야 반도체 디스플레이 플라즈마 진단 모니터링, 플라즈마 소스 및 물성 연구
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