공정플라즈마 기초와 응용

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책 정보

· 제목 : 공정플라즈마 기초와 응용
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 기계공학 > 기초역학/열역학/역학일반
· ISBN : 9788970884240
· 쪽수 : 300쪽
· 출판일 : 2003-09-30

저자소개

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<공정플라즈마 기초와 응용>

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한국과학기술원(KAIST) 플라즈마 박사 ㈜ 플라즈마트 연구소장 한양대학교 공과대학 전기공학과 교수 University of Texas at Dallas 객원 교수 2008~2009 삼성전자 생산기술 연구소 고문 2012~2013 한국정보디스플레이 학회 장비연구회 회장 2011~2015 주요 연구 분야 반도체 디스플레이 플라즈마 진단 모니터링, 플라즈마 소스 및 물성 연구

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