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책 정보
· 제목 : 플라즈마 전자공학 (3판)
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 전기전자 개론
· ISBN : 9788936322120
· 쪽수 : 320쪽
· 출판일 : 2021-08-25
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 전기전자 개론
· ISBN : 9788936322120
· 쪽수 : 320쪽
· 출판일 : 2021-08-25
책 소개
공학전반에 응용되고 있는 플라즈마에 대한 관심과 필요를 충족시키기 위해 집필된 것으로, 학부 4학년이나 대학원생들[물리, 화학, 재료공학, 전기공학 등]을 대상으로 하였으며, 풍부한 그림과 각 장 뒤의 질의/응답 코너에서는 플라즈마 관련 문제들을 수록하였다.
목차
서론 : 플라즈마 전자공학
Chapter 1 플라즈마 기초
Chapter 2 플라즈마 발생
Chapter 3 플라즈마 화학 반응
Chapter 4 플라즈마 공정
Chapter 5 플라즈마 측정 및 진단
Chapter 6 플라즈마 소스 공학
Chapter 7 부록
