초고진공이 여는 세계

머리말

1. 진공의 자리를 내리는 일에의 도전
지구는 진공 속에 떠 있다 / 진공 기술의 새벽 / 수은에서 기름으로 바꿔간 진공 펌프 / 진공을 어떻게 측정했는가? / 큰 전환

2. 진공 공업이 더듬어 온 길
진공을 기계적으로 이용한다 / 진공의 화학적 이용 / 진공의 물리적 이용 / 진공의 생물에의 응용 / 진공 공업 관련 수목도 / 진공 공업의 성장 분야

3. 가장 눈부신 발전 ? 진공을 이용한 성막 공업
진공 중에서의 성막 방법 / 진공 증착이란? / 진공 중의 증발 현상 / 기판 상에의 증착 / 플라스틱에의 증착 / 증발원 / 진공 증착은 전자 공업과 더불어

4. 감기 증착
메탈라이즈드 페이퍼 콘덴서 / 금은지의 소재로서... / 전사 실 그 밖의 응용이 넓어지다 / 태양열 선택 반사·흡수막 / 고밀도 자기 기록 테이프 / 대량 생산에 알맞은 필름이라는 소재

5. 이온 플레이팅
이온 플레이팅이란 무엇인가? / 습식 크롬 도금과 환경 문제 / 홀로 캐소드 방전법 / 탄화물, 질화물의 이온 플레이팅 / 특수강의 공구 수명이 늘어났다 / 단단하고 내식성이 있는 금색 코팅 / 반도체 프로세스에서 이온 플레이팅은 알맞지 않은가?

6. 플라스마 프로세스 ? 스퍼터링
방전 현상 / 스퍼터링이란 무엇인가? / 스퍼터링에 의한 성막의 특징 / 위대한 실용적 진보 ? 평판 마그네트론 스퍼터원 / 스퍼터 증착의 마무리

7. 초고진공 Ⅰ - 깨끗한 진공을 만든다
깨끗한 진공과 초고진공 기술 / 물리 흡착과 슈퍼벌 / 기름 증기 분자의 특이한 행동 / 기름 증기 분자의 역류 / 기름 확산 펌프로는 깨끗한 진공을 만들 수 없다 / 초고진공 펌프의 삼총사 / 수증기 분자의 흡착과 탈리

8. 초고진공 Ⅱ - 표면 과학과 분자선 에피택시얼 성장
표면 과학과 초고진공 기술 / 실리콘 표면에 고유한 초격자 구조 / 오제 전자 분광이란 무엇인가? / 표면에만 민감한 화학 분석 / 오제 전자 분광과 깊이 방향 분석 / 분자선 에피택시얼 성장

9. 넓어지는 플라스마 이온빔 이용 기술
지금 반도체 공장에서는... / 활성 가스 이온 에칭(RIE) / 어디까지 선폭을 가늘게 할 수 있는가? / 플라스마로부터 받는 웨이퍼의 손상 / 플라스마 CVD / 이온 주입이란 무엇인가? / 플라스마 이온빔 이용 기술의 마무리

10. 거대과학과 초고진공 기술 ? 앞으로의 진전
여기까지 온 진공 기술 / 핵융합과 깨끗한 플라스마 / 고에너지 입자 가속기와 SOR광 / 알루미늄 합금제 초고진공 배기계 / 앞으로의 진전에 중요한 진공 중의 더스트 연구

출판사 서평
흔히 진공이라는 단어를 들으면 우주 공간을 생각하게 된다. 그러나 엄연히 우주 공간에도 수많은 먼지들이 존재하고 있다고 한다. 이런 우주 먼지와 물질들이 없었다면 우주는 아무런 반응이 없는 암흑과 같은 곳이 되고 말았을 것이다. 이처럼 먼지(dust)는 우리 눈에 보이지 않지만 항상 존재하고 있다. 그러나 오늘날 최첨단 기계장비와 반도체 등은 이러한 이물질이 없는 곳에서 공정이 이루어져야 한다. 미세한 물질에도 민감하게 반응하는 이런 과정은 결국 극도의 진공(?) 상태를 요구하고 있다. 따라서 초고진공 기술이 미래의 최첨단 기술을 구연하는 데 필수적인 요소인 것이다.
이 책은 최고진공이 발전된 이야기뿐만 아니라 진공의 기초 지식에 필요한 주제들로 가득 차 있다. ‘초고진공’에 관한 기초 지식을 알고 싶은 독자들에게 큰 도움이 될 것이다.