진공과학입문

1장. 진공의 세계
1. 들머리
2. 진공기술의 발전 역사
3. 진공이란 무엇인가
4. 진공의 의미
5. 진공의 속성과 그 응용

2장. 기체의 분자운동
1. 기체분자운동론
2. 상태방정식
3. 기체 분장의 속도분포
4. 기체의 분자운동과 압력
5. 분자 입사빈도
6. 평균자유거리
7. 자유거리의 분포
8. 표면 위 충돌거리
9. 수송과정
10. 기체의 흐름

3장. 고체 표면과 기체 분자
1. 고체 표면에서의 제과정
2. 흡착과 탈착
3. 기체의 확산과 투과
4. 가스방출
5. 광유도 탈착

4장. 배기과정
1. 배기속도
2. 집중형 진공시스템의 배기
3. 분산형 진공 시스템

5장. 진공펌프
1. 개론
2. 유회전펌프
3. 루츠펌프
4. 드라이펌프
5. 유확산펌프
6. 터보분자펌프
7. 게터펌프
8. 스퍼터 이온펌프
9. 수착펌프
10. 저온펌프
11. 진공펌프의 비교

6장. 진공계측
1. 낮은 압력의 측정
2. 전압게이지
3. 분압게이지
4. 전.분압게이지의 감도교정

7장. 새는 곳 찾기
1. 개론
2. 일반원리
3. 누출검출기

8장. 진공시스템
1. 진공 시스템의 기본설계
2. 재료
3. 제작기술
4. 진공부품
5. 대표적 응용 시스템
6. 초고진공 기술의 실제