진공물리 및 진공기술

진공의 기초

1. 진공이란
2. 진공의 필요성
3. 진공의 역사
4. 진공의 단위 및 진공의 분류
5. 진공에 사용되는 부호

진공 관련 이론

1. 기체 법칙
2. 전도
3. 표면 물리학

진공의 제작 : 진공펌프

1. 펌프의 성능에 관련된 용어
2. 진공 펌프의 종류 및 사용
3. 저진공 펌프
4. 고진공 펌프
5. 초고진공 펌프
6. 그 밖의 펌프

진공의 측정 : 진공 압력계

1. 진공 게이지의 분류
2. 진공 게이지의 선택 및 사용
3. 직접 측정 게이지
4. 기체의 열 특성을 이용한 게이지
5. 기체의 이온을 이용한 게이지
6. Spin rotor 게이지
7. 그 밖의 게이지
8. 잔류 기체 분석기
9. 누출 검지

진공기술과 관련된 물질

1. 진공 작업에 사용되는 물질 및 특성
2. 세척

진공 시스템 제작

1. 진공 부품
2. 고진공 시스템 제작에 있어 고려해야 할 사항
3. 기체 방출률의 계산
4. 배관 및 기타

안전 및 사용시 유의점

참고문헌
용어집
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