엘립소미트리

머리말

제1장 Ellipsometry 개요
1. Ellipsometry의 역사
2. Ellipsometry의 특징
3. Ellipsometry의 운용 원리

제2장 전자기학 및 광학 기초 이론
1. 전자기파와 빛
2. 편광
3. 물질에서의 빛의 반사
4. Ellipsometry 각

제3장. 고체의 광학적 성질
1. 물질의 유전률
2. 분산 관계
3. 그 밖의 유용한 분산 모델
4. 반도체 물질의 광학적 갭

제4장 Ellipsometry에 사용되는 광학 부품
1. 광원 및 detector
2. 편광 관련 부품
3. 기타 부품

제5장 Ellipsometry의 구조 및 원리
1. Ellipsometry의 종류
2. 주요 ellipsometry의 측정원리
3. Rotating polarizer/analyzer ellipsomter를 이용한 측정
4. 실시간 분광 ellipsometry

제6장 Data 분석
1. 물질의 미세 구조적 특성 분석
2. 물질의 광학적 특성 분석
3. 실시간 data의 분석

제7장 각종 data 분석의 예

제8장 Ellipsometry 사용 및 분석에 있어서 고려할 사항

1. 이론적으로 고려해야 할 사항
2. Ellipsometry에 있어서 오차
3. Ellipsometry 운용에 관련된 질문과 답

참고문헌
부록
용어집
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