미세전자공학

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책 정보

· 제목 : 미세전자공학 (2nd Edition)
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 전기전자 개론
· ISBN : 9788972832768
· 쪽수 : 762쪽
· 출판일 : 2003-03-10

Part1 개관
.미세전자소자 제조 입문
.반도체 기판

Part2 단위공정1:열공정 및 이온주입법
.확산
.열 산화
.이온주입법
.급속 열처리공정

Part3 패턴 변환
.광학 리소그래피
.포토레지스트
.비 광학 리소그래피 기술
.전공학과 플라즈마
.식각

Part4 기본적인 3단계: 박막
.물리적 증착:이베포레이션과 스퍼터링
.화학기상증착법
.에피택셜 성장

Part5 공정 직접화
.소자 분리, 접촉, 그리고 Metallization
.CMOS 기술들
.GaAs 기술들
.실리콘 바이폴라 기술
.IC 제작