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책 정보
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788980007011
· 쪽수 : 206쪽
목차
Chapter 1 웨이퍼 백 그라인딩 공정(Wafer Back Grinding)
1. 웨이퍼 백 그라인딩 공정 소개
2. 웨이퍼 백 그라인딩 공정 장비
3. 테이프 마운팅 장비 구조 및 모듈별 기능
4. 장비운영
Chapter 2 웨이퍼 소잉 공정(Wafer Sawing)
1. 장비의 개요 및 동작원리
2. 소잉 공정 소개
3. 소터(Sorter) 장비 구조 및 모듈별 기능
4. 소잉 공정 불량
Chapter 3 다이 본딩 공정(Die Bonding)
1. 장비의 개요 및 동작원리
2. 다이 본딩(die bonding)의 공정 소개
3. 다이 본더(Die bonder)의 구성
4. 구성 모듈
5. 다이본딩 공정 불량 및 대처 방법
Chapter 4 와이어 본딩 공정(Wire Bonding)
1. 와이어 본딩 공정 소개
2. 와이어 본딩 장비 구조 및 모듈별 기능
3. 와이어 본딩의 불량 사례 및 대응 방법
4. 장비의 운영
Chapter 5 몰딩 공정(Molding)
1. 장비의 개요 및 동작원리
2. 공정 순서
3. 장비 구조 및 모듈별 기능
4. Molding 공정 관련 부품 및 재료 소개
5. Mold 공정 불량
Chapter 6 마킹 공정(Marking)
1. 장비의 개요 및 동작원리
2. 마킹 공정 순서
3. 장비 구조 및 모듈별 기능
4. 마킹공정 영향 요소
5. 공정 불량
Chapter 7 솔더 볼 접합 공정(Solder Ball Mounting)
1. 공정개요 및 동작원리
2. 필요 요소
3. 공정 순서
4. 장비의 구성 및 모듈별 기능
5. 공정불량
6. 기타
Chapter 8 소우 앤 소터(Saw & Sorter)
1. 공정개요 및 동작원리
2. 장비의 구성
3. 공정 순서
4. 모듈별 기능
5. 공정 불량