진공 기술 해석

CHAPTER 1 진공이란
:: 진공의 정의
:: 압력의 정의
:: 압력의 단위
:: 진공의 분류
:: 진공 기술 개발사
:: 진공의 응용

CHAPTER 2 진공 기술 이론
:: 진공 기술 이론
:: 기체의 운동 법칙
:: 평균자유행로
:: 충돌률(충돌 유량)
:: 기체의 수송 현상
:: 증기압
:: 유량, 기체 방출률
:: 기체 흐름
:: 기체와 고체 표면의 반응
:: 대기와 진공 상태, 물(수분)의 영향 및 제거 방법

CHAPTER 3 진공 해석
:: 진공 해석
:: 배기 시간의 계산
:: 압력 강하 과정
:: 압력 강하 해석
:: 기체 방출의 계산
:: 배기 속도 계산
:: 압력 계산
:: 진공 해제
:: 압력 상승량 계산
:: 압력 증가의 원인
:: 누출의 정의
:: 기체 방출의 측정
:: 대기 환경과 N2 환경, 진공 환경의 비교
:: 전도의 의미
:: 전도의 연결
:: 전도의 계산(분자류)
:: 유효 배기 속도의 계산
:: 전도의 계산(점성류)
:: 전도의 계산(점성류에서 분자류까지)

CHAPTER 4 진공 만들기
:: 진공에서 필요한 기본 요소들
:: 진공 만들기
:: 진공 펌프의 종류
:: 건식 펌프
:: 크라이오 펌프
:: 터보 분자 펌프
:: 진공 측정
:: 전기용량 게이지
:: 열전대 게이지
:: 이온 게이지
:: 잔류 가스 분석기

CHAPTER 5 진공 장비
:: 진공 장비의 종류
:: 증착 장비
:: 스퍼터링 장비
:: 화학 증착 장비
:: 진공 장비의 구분