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책 정보
· 제목 : 반도체 장비요소 기술공학
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791159714566
· 쪽수 : 208쪽
· 출판일 : 2022-10-10
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791159714566
· 쪽수 : 208쪽
· 출판일 : 2022-10-10
책 소개
반도체 칩 제조 공정이 점점 미세화 되면서 제조 공정에 사용되는 반도체 장비 역시 성능의 고도화가 필수적으로 요구되고 있다. 이 책은 반도체 장비를 구성하는 핵심 모듈의 종류와 기능, 동작 원리와 이들 핵심 모듈을 구성하는 부품의 종류와 기능. 동작원리를 이해하는데 도움이 되고자 제작하였다.
목차
1장 반도체 제조 공정 개요
2장 반도체 제조 장비 개요
3장 유량 조절 장치 이해
4장 밸브 장치 이해
5장 진공 장치 이해
6장 가열 장치 이해
7장 냉각 장치 이해
8장 플라즈마 장치 이해
9장 반송 장치 이해
10장 제어 장치 이해
