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책 정보
· 제목 : 박막프로세스의 기초 
· 분류 : 국내도서 > 과학 > 공학 > 화학공학
· ISBN : 9788945020024
· 쪽수 : 176쪽
· 분류 : 국내도서 > 과학 > 공학 > 화학공학
· ISBN : 9788945020024
· 쪽수 : 176쪽
목차
001. 서론 002. 박막제작에 필요한 진공장치의 기초 003. 진공증착법 004. 스파타링법 005. 플라즈마 프로세스 006. 막두께 측정법 007. 관련기술 008. 맺음말
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