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책 정보
· 제목 : 반도체 8대 공정 마스터 
· 분류 : 국내도서 > 과학 > 공학 > 전기/전자공학
· ISBN : 9791164406012
· 쪽수 : 210쪽
· 출판일 : 2024-07-26
· 분류 : 국내도서 > 과학 > 공학 > 전기/전자공학
· ISBN : 9791164406012
· 쪽수 : 210쪽
· 출판일 : 2024-07-26
책 소개
반도체 8대 공정을 위주로 작성되었으며, 반도체 기초와 집적화 공정 기술을 포함하여 10장으로 구성되었다.
목차
제1장 반도체 기초
제2장 산화
제3장 확산
제4장 이온주입
제5장 박막 증착
제6장 리소그라피
제7장 식각기술
제8장 금속배선
제9장 소자 공정
제10장 패키징
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