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책 정보
· 제목 : 반도체 전공정 실습
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791166756504
· 쪽수 : 246쪽
· 출판일 : 2025-09-05
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791166756504
· 쪽수 : 246쪽
· 출판일 : 2025-09-05
책 소개
반도체의 핵심 공정 중 하나인 산화 공정(Oxidation Process)을 시작으로, 전(Front-end)공정 반에 대한 흐름 이해, 실습 기반 교육, 안전관리 지침을 통합적으로 구성한 교재다. 대학 및 공정 실습 교육 현장에서 직접 반도체 공정을 경험하고자 하는 학습자들을 대상으로 집필되었다.
목차
1. 반도체란 무엇인가?
2. 반도체 안전 교육
3. Oxidation
4. Photo Lithography
5. Etching
6. Deposition
7. Doping
8. CMP
9. Cleaning
10. Test
부록 I. MOSFET Process Flow
부록 II. 반도체 용어집
