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책 정보
· 제목 : 반도체 전공정 실습 (제2판)
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791166756979
· 쪽수 : 246쪽
· 출판일 : 2026-02-20
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791166756979
· 쪽수 : 246쪽
· 출판일 : 2026-02-20
책 소개
반도체의 핵심 공정 중 하나인 산화 공정을 시작으로 전공정 전반의 흐름 이해, 실습 기반 교육, 안전관리 지침을 통합적으로 구성했다. 공정의 물리적·화학적 원리와 장비·공정 조건 적용, 공정 맵과 플로우차트, MSDS 교육과 ESD 예방 등 안전 중심 교육 요소를 담았다.
목차
1. 반도체란 무엇인가?
2. 반도체 안전 교육
3. Oxidation
4. Photo Lithography
5. Etching
6. Deposition
7. Doping
8. CMP
9. Cleaning
10. Test
부록 I. MOSFET Process Flow
부록 II. 반도체 용어집
