책 이미지
eBook 미리보기
책 정보
· 제목 : Facing Target Sputtering (FTS)의 원리와 응용 (플라즈마 기초, FTS의 원리, 동작, 유지보수에 관하여)
· 분류 : 국내도서 > 과학 > 공학 > 공학 일반
· ISBN : 9791141015640
· 쪽수 : 54쪽
· 출판일 : 2023-02-14
· 분류 : 국내도서 > 과학 > 공학 > 공학 일반
· ISBN : 9791141015640
· 쪽수 : 54쪽
· 출판일 : 2023-02-14
목차
1장 플라즈마 기초
1.1 서론
1.2 플라즈마의 정의
1.3 플라즈마 생성조건
1.4 참고문헌
2장 반도체 진공 장비
2.1 진공펌프
2.2 PVD
2.3 ALD
2.4 참고문헌
3장 Facing Target Sputtering (FTS)
3.1 FTS의 구조
3.2 FTS 사용 방법
3.3 Sputtering 파라미터
3.4 박막 평가
3.5 참고 문헌
4장 유지 및 보수
4.1 타겟건 유지보수
4.2 챔버 유지보수
4.3 Leak 유지
